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產品描述
摻雜氣：AsH3、PH3、GeH4、B2H6、AsCl3、AsF3、H2S、BF3、BCl3、H2Se、SbH3、(CH3)2Te、(CH3)2Cd、(C2H5)2Cd、PCl3、(C2H5)2Te
晶體生長氣：SiH4、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、B2H6、BBr3、BCl3、AsH3、PH3、GeH4、TeH2、 (CH3)Al、(C2H5)3Al、(CH3)3As、(C2H5)3As、(CH3)2Hg、(CH3)3P、(C2H5)3P、SnCl4、GeCll4、SbCl5、AlCl3、Ar、He、H2
氣相蝕刻氣：Cl2、HCl、HF、HBr、SF6
等離子蝕刻氣：SiH4、CF4、C3F8、CHF3、C2F6、CClF3、O2、C2ClF5、NF3、SF6、BCl3、CHFCl2、N2、He、Ar
離子束蝕刻氣：C3F8、CHF3、CClF3、CF4
離子注入氣：AsF3、PF3、PH3、BF3、BCl3、SiF4、SF6、H2、N2
化學氣相沉積氣：SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、NH3、NO、O2
平衡氣(稀釋氣)：N2、Ar、He、H2、CO2、N2O、O2
外延氣：SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、Si2H6、HCl、PH3、AsH3、B2H6、He、H2、N2、Ar
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